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电子行业洁净室要求
2023/3/23
电子行业洁净室要求 由于生产工艺种类繁多，对洁净度等级要求也不同，高的很高，低的很低；对粒子粒径控制的要求也不同，范围约为0.1~5um；对温湿度控制的要求相对较 高，如集成电路前道工序一般要求室内温度基数为22℃（精度±0.1~±1℃），相对湿度基数为40%（精度±2~±5℃；正压值要求的梯度级别，随着洁净度的变化而从高到低变化，差值5~10Pa。
电子行业洁净室要求 电子行业无尘车间的冷负荷比其他行业的无尘车间大很多，单位冷负荷达400~500W/㎡很常见。由于冷负荷大，一般情况下，冬季也需要供冷，这是电子行业的特点。
电子行业生产工艺过程产生的有毒有害气体种类繁多，且量也大，所以需要的排风量和新风量也大。新排风的节能措施也是行业特点之一，排放前要做处理，使排风负荷环保要求。
电子行业生产工艺有抗静电、抗微振的要求，并且大宗气体和特种气体种类多，对纯度和洁净度要求高：
1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级（空态）：不应大于65dB（A）。
2、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。
3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。
4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值。
5、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
6、保障供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
电子行业洁净室要求 电子行业无尘车间的冷负荷比其他行业的无尘车间大很多，单位冷负荷达400~500W/㎡很常见。由于冷负荷大，一般情况下，冬季也需要供冷，这是电子行业的特点。
电子行业生产工艺过程产生的有毒有害气体种类繁多，且量也大，所以需要的排风量和新风量也大。新排风的节能措施也是行业特点之一，排放前要做处理，使排风负荷环保要求。
电子行业生产工艺有抗静电、抗微振的要求，并且大宗气体和特种气体种类多，对纯度和洁净度要求高：
1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级（空态）：不应大于65dB（A）。
2、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。
3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。
4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值。
5、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
6、保障供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
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